Specifications
■ 측정유체 : 질소(N2)
■ 측정방법 :
- PED(Plasma Emission Detector)을 기본으로 한 Duty Cycle Controlled System
■ 측정범위
- 0~100 ppb 0.1 ppb 까지 가능
- 0~500 ppb 1 ppb 까지 가능
- 0~5000 ppb1 ppb 까지 가능
- 기본 측정 범위가 아닌 경우 공장 문의
■ 정확도 : ± 0.5% of range used
■ 권장유체량 : 15 ~ 200 sccm
■ 동작온도 : 10°C - 45°C
■ 전원 : 120VAC, 220VAC
■ 권장유체량 : 15 ~ 200 sccm
■ 최대, 최소압력 : 20 PSIG, 10PSIG
■ TUBE 연결 크기 :
- Sample: 1/8’’ compression fittings
- Vent: 1/8’’ compression fitting
■ 제품크기 : 482*374.5*136.5 mm / 17kg
Application
■ Air separation unit
■ Speciality gas laboratories
■ Process control
■ Argon purification plant
■ Chemical plants
■ Helium liquification plants
■ Gas management system
■ Semiconductor manufacturing